PESメンブレンカートリッジフィルター（電子工業用）
半導体、液晶ディスプレイなどの電子工業業界の超純水濾過用、純水洗浄装置用として開発した、大流量、長寿命を実現したPES製メンブレンカートリッジフィルターです。
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| 大流量、長寿命
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| 空隙率が高い非対称構造のポリエーテルサルホン製メンブレンフィルターを使用し、有効濾過面積を大きくしたことで大流量化、長寿命化を実現しました。
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| 全製品超純水フラッシング済み
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| 全製品超純水でフラッシング済みで、使用開始時の電気伝導率回復特性およびTOC回復特性に優れたカートリッジフィルターです。
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| 高い信頼性
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| 全製品完全性試験を実施済みで、信頼性の高いカートリッジフィルターです。 |
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| ■主要用途
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| 液晶ディスプレイ製造における洗浄水、薬液の濾過
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| 超純水製造装置の中間フィルター、ファイナルフィルター
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| 超純水の濾過 |
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| ■仕様
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| 品名
| TCS-E020
| TCS-E045
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| 孔径(μm)
| 0.20
| 0.45
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| 有効濾過面積(cm2/250㎜タイプ)
| 6,700
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| 最大許容差圧(MPa、25℃)※
| 0.39
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| 最大許容温度(℃)※
| 80 |
| 品名
| TCS-E045S
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| 孔径(μm)
| 0.45
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| 有効濾過面積(cm2/250㎜タイプ)
| 8,800
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| 最大許容差圧(MPa、25℃)※
| 0.39
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| 最大許容温度(℃)※
| 80 |
| ※
| 最大許容差圧、最大許容温度は、水での試験結果をもとに設定しており、濾過する薬品や差圧、温度、時間の組合せによって異なりますので、ご使用前のテストをおすすめいたします。
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| 一度ご使用したカートリッジフィルターが乾燥すると、メンブレンフィルターが疎水化する場合があります。この場合、ご使用前にイソプロピルアルコールやエチルアルコールで湿潤させた後、清浄水で洗浄してからご使用ください。 | | |
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